দিয়া 123 মিমি স্টেইনলেস স্টিলের ভিতরে উচ্চ ঘনত্ব লক্ষ্য করে

OD150*ID123*1091 স্টেইনলেস স্টিল 304 স্টেইনলেস স্টীল টিউব টার্গেট

অর্ধপরিবাহী শিল্পে লক্ষ্যযুক্ত উপকরণ।সেমিকন্ডাক্টর উপকরণগুলিকে ওয়েফার উপকরণ এবং প্যাকেজিং উপকরণে ভাগ করা যায়।প্যাকেজিং উপকরণগুলিতে ওয়েফার উত্পাদন উপকরণের তুলনায় কম প্রযুক্তিগত বাধা রয়েছে। ওয়েফার উৎপাদনে সাত ধরনের অর্ধপরিবাহী উপকরণ এবং রাসায়নিক পদার্থ রয়েছে, যার মধ্যে একটি হল লক্ষ্যবস্তু পদার্থ ছিটানো। লক্ষ্য উপাদান হল এমন একটি যা উচ্চ গতির চার্জযুক্ত কণা দ্বারা বোমা ফেলা হয়। বিভিন্ন টার্গেট উপকরণ (যেমন অ্যালুমিনিয়াম, কপার, স্টেইনলেস স্টিল, টাইটানিয়াম, নিকেল টার্গেট ইত্যাদি) পরিবর্তন করে, বিভিন্ন ফিল্ম সিস্টেম (যেমন সুপারহার্ড, পরিধান-প্রতিরোধী, জারা-প্রতিরোধী খাদ ফিল্ম ইত্যাদি) পাওয়া যেতে পারে।

লক্ষ্য উপাদানগুলির প্রধান পারফরম্যান্স ইনডেক্সগুলির মধ্যে বিশুদ্ধতা হল, কারণ টার্গেট ম্যাটেরিয়ালের বিশুদ্ধতা চলচ্চিত্রের পারফরম্যান্সের উপর বড় প্রভাব ফেলে। কিন্তু অনুশীলনে, লক্ষ্য উপকরণগুলির বিশুদ্ধতা প্রয়োজনীয়তাগুলিও ভিন্ন। কঠিন পদার্থের অমেধ্য এবং ছিদ্রগুলিতে অক্সিজেন এবং জলীয় বাষ্প ফিল্ম জমার প্রধান উৎস। কঠিন টার্গেট ম্যাটেরিয়ালের ছিদ্রতা কমাতে এবং স্পটারিং ফিল্মের কর্মক্ষমতা উন্নত করার জন্য, টার্গেট ম্যাটেরিয়ালে সাধারণত উচ্চ ঘনত্ব থাকা প্রয়োজন। টার্গেট উপকরণের মূল কর্মক্ষমতা সূচকের মধ্যে ঘনত্বও অন্যতম। টার্গেট উপাদানের ঘনত্ব না শুধুমাত্র sputtering হার কিন্তু পাতলা ছায়াছবির বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্য প্রভাবিত করে। টার্গেটের ঘনত্ব যত বেশি, ফিল্ম গঠনের পারফরম্যান্স তত ভাল। উপরন্তু, লক্ষ্যবস্তু উপাদান ঘনত্ব এবং শক্তি sputtering সময় তাপ চাপ ভাল প্রতিরোধ করে উন্নত করা যেতে পারে।